青岛集成电路生产企业废气治理工艺

　　集成电路行业的制程排气通常有四种类型：一般排气(GEX) ，酸性排气(SEX) ，碱性排气(AEX)及有机排气(VEX) 。无尘室使用有机溶剂后，通过有机排气管路(VEX ) ，汇总至有机废气处理系统处理后排放至外界大气。有机排气是集成电路行业VOC 的主要排放源。

　　半导体企业有机废气治理工艺为：直接燃烧法

　　有机废气治理工艺流程为：

　　有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放

　　半导体企业酸性或碱性废气，格林斯达废气处理公司采用的废气治理工艺为：酸碱中和处理法。

　　酸碱废气治理工艺流程为：

　　风管废气收集→酸性/碱性废气洗涤塔化学洗涤→耐腐蚀风机引风→烟囱排气达标排放

　　低温等离子废气处理技术具有以下优点：

　　放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。

　　反应快，不受气速限制。

　　采用防腐蚀材料。

　　只需用电，操作为简单。

　　设备启动、停止十分迅速，随用随开，常温常压下即能使用。

　　气阻小，适用于大风量的废气处理

　　设备性能特点：

　　1、工艺简单，管理、操作方便简洁；

　　2、压降低，操作弹性大，具有良好的除雾性能；

　　3、过滤废气效果好，去除率可达99%；

　　4、自动化程度高，自动加药，自动补水，自动排水。

　　5、耐腐蚀性强，废气处理设备使用寿命可达30年以上

　　集成电路企业酸碱废气处理方法：

　　 GLSD—废气吸收洗涤净化塔，一般采用气液逆流操作，风机组将收集到的废气吸到废气吸收洗涤净化塔内，经过填料层，废气与吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应，废气经过净化后，再经除雾板脱水除雾后，由风机排入大气。吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下，最后回流到塔底循环使用。北京格林斯达品牌—废气吸收洗涤净化塔，净化效率高达95%，阻力损失小，能耗低，操作稳定可靠。

　　废气吸收塔，因其工作原理类似洗涤过程，故名洗涤塔。该塔具有净化效率高，操作管理简单，使用寿命长等的特点。GLSD—废气吸收洗涤塔是一种新型高效的工业废气治理净化处理设备。它是在浮动填料层气体净化器的基础上，做了大步的改进，更加高效实用，现在广泛应用于工业废气净化、除尘等方面的前处理，净化效果非常好。

　　低温等离子废气处理技术可治理以下半导体企业生产过程中产生的废气：

　　集成电路生产企业：主要包括数字集成电路板及模拟集成电路板生产企业。

　　分立器件生产企业：主要包括晶体二极管、三极管，整流二极管，功率二极管、化合物二极管等生产制造企业。