济宁半导体厂车间通风降温、异味净化工程安装
关键词:车间通风降温,异味净化
半导体厂车间通风降温系统:
(1)自然通风
自然通风是根据热压和风压的相对平衡原理(由于空气温度的差异导致空气的密度产生差异,在地球重力的作用下,高温空气向上运动,低温空气向下运动),通过开气孔、天窗、门或利用穿堂风来进行通风换气的方式,也有在厂房屋顶装置自然排风帽,利用烟筒的效应来达到通风换气的目的。
(2)机械通风
目前常用的机械通风设备有排风扇和负压风机。
机械制冷降温方式对工业厂房建筑结构的密闭性、保温和隔振以及对车间内生产工艺流程的要求是比较高的。
(3)蒸发冷却式通风降温
蒸发冷却技术应用水作为制冷剂,利用水的蒸发吸热原理来对所处理的空气进行降温。由于其制冷剂为水,因此被称为是一项经济、节能、环保并且可以有效提高室内空气品质的冷却降温技术。
半导体厂车间异味净化系统:
半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。目前,有机废气排放处理措施采用大风量低浓度,其处理一般采用吸附浓缩技术、等离子光解技术、或UV光解技术等等。
半导体制造行业废气→预处理设备(根据具体项目及废气源实际工况,可能涉及到粉尘去除、水气分离、高温降温处理、油膏油脂去除、酸碱水雾去除等相应的预处理措施)→等离子UV光解除臭废气净化器→高排