濮阳电子半导体厂难闻气味净化方案

　　关键词：气味净化，异味净化，

　　半导体厂难闻废气净化有哪些办法？半导体废气成分有哪些？有哪些半导体厂异味净化案例可以咨询的吗？

　　电子半导体厂异味净化设备的工作远离是将气体中的污染物分离出来，转化为无害物质，以达到净化气体的目的。它属于微分接触逆流式，塔体内的涂料是气液两相接触的基本构件。塔体外部的气体进入塔体后，气体进入填料层，填料层上有来自于顶部的喷淋液体，并在填料上形成一层液膜，气体流经填料空隙时，与填料液膜接触并进行吸收或中和反应，填料层能提供足够大的表面积对气体流动又不致造成过大的阻力，经吸收或中和后的气体经除雾剂收集后，经出风口排除塔外，吸收剂是处理废气的主要媒体，它的性质和浓度是根据不同废气性质来选配，其处理单位气体的耗用量，是通过计算吸收剂与惰性气体的摩尔流量的比值来确定的。废气由风机自风管吸入，自下而上穿过填料层；循环吸收剂由塔顶通过液体分布器，均匀的喷淋到填料层中，沿着填料层表面向下流动，进入循环水箱，由于上升气流和下降吸收剂在填料中不断接触，上升气流中流质的浓度越来越低，到塔顶时达到排放要求。液膜上的液体在重力作用下流入储液箱，并由循环泵抽出循环。

　　完成半导体异味净化FAB厂房13k排气系统的建设，异味净化系统包括：酸性废气处理系统（SEX）：3套卧式洗涤塔×风量65000CMH；EPI SEX废气处理系统：2套卧式洗涤塔×风量12000CMH；碱性废气处理系统（AEX）：2套卧式洗涤塔×风量10000CMH；一般排气系统（GEX）：3套×风量65000CMH；有机废气处理系统（VEX）：2套有机废气焚烧设备×风量20000CMH，砷排放系统：2套×1000CMH及exhaust系统的自控及上位机系统，保证系统稳定运行。